半导体超纯水设备

半导体超纯水设备的运行原理是通过多级纯化工艺将自来水中的杂质去除，达到超纯水的要求。其核心步骤包括预处理、反渗透、电去离子（EDI）及抛光混床等。预处理阶段，通过石英砂过滤器、活性炭过滤器等设备去除水中的悬浮物、有机物和部分溶解盐。接着，反渗透技术利用高压驱动水通过半透膜，有效去除水中的大部分无机盐、有机物等杂质。电去离子（EDI）阶段，结合了离子交换膜技术和离子电迁移技术，通过电场作用使水中的离子发生定向移动，并利用交换膜的选择透过性进行提纯。最后通过抛光混床罐，水中的阳离子和阴离子会与树脂上的相应离子进行交换，从而实现离子的去除，进一步去除水中的离子，提升水质纯度。