半导体行业废气处理 转轮+三床式RTO

一、系统介绍

沃特伊兰 “沸石转轮 + RTO” 废气处理系统，是工业废气治理领域的革新性解决方案。该系统通过将沸石转轮吸附浓缩技术与蓄热式热力氧化技术（RTO）高效耦合，实现低浓度大风量有机废气的深度净化。实测数据显示，系统对 VOCs 的综合处理效率高达 99% 以上，热回收效率超过 95%，运行能耗降低 30%，在化工、涂装、印刷等行业已成功应用超 2000 + 案例，以卓越的净化性能与经济性，成为企业实现环保达标与节能增效的双重利器。

二、系统原理

系统运行时，沸石转轮先利用疏水性沸石分子筛的吸附特性，对低浓度废气中的有机污染物进行吸附浓缩，使废气浓度提升 5-20 倍；转轮通过旋转将饱和区域送入脱附区，利用小风量高温气体进行脱附，形成高浓度小风量废气。随后，高浓度废气进入 RTO 设备，在 750℃左右的高温环境下进行氧化分解，转化为二氧化碳和水，同时释放的大量热能通过蓄热体回收，用于预热后续进入的废气，形成热能循环利用，实现废气高效净化与能源再生的双重目标。

三、系统流程图

四、部分设备型号及占地