电子超纯水解决方案

简要说明

电子超纯水解决方案
电子超纯水解决方案

电子超纯水解决方案

设备外观:一体化/工业超纯水站

处理规模:0-500m³/h

产水水质:10MΩ·cm、15MΩ·cm、18MΩ·cm、18.2MΩ·cm

设备简介:电子行业超纯水设备,集多级过滤、反渗透及电去离子技术和离子交换技术于一体,专为满足电子行业对水质的高标准而设计。通过精密的预处理、深度脱盐及终端抛光步骤,使设备能产出电阻率高达18MΩ·cm以上的超纯水,确保水质纯净无杂质。

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电子超纯水设备应用

微小的杂质、金属离子、有机物甚至微生物都可能对电子元件的性能造成致命影响,导致电路短路、信号干扰、产品失效等严重后果。因此,电子行业对用水的纯度要求极高,通常需要达到18MΩ·cm以上的电阻率。

颗粒物

颗粒物可能导致半导体制造中的缺陷和产量损失,特别是在现代微芯片制造中,微小的颗粒也可能干扰光刻、沉积、蚀刻等复杂工艺

金属离子

例如重金属(铜、铅、汞)、碱金属(钠、钾)和过渡金属(铁、镍)等,这些离子会污染晶圆表面,在沉积过程中引入杂质,或引起不良的化学反应

有机物

如碳氢化合物、油、溶剂和表面活性剂,它们可能沉积在产品表面上,阻碍粘附,影响光刻胶的性能,从而导致缺陷

微生物

包括细菌、真菌和孢子,它们可能导致生物膜形成和微生物腐蚀,对半导体制造构成重大威胁

电子超纯水处理工艺

反渗透膜处理法
反渗透膜处理法利用半透膜的特性,通过施加压力,使水分子逆浓度梯度通过膜,而溶解在水中的盐分、有机物、细菌等杂质则被阻挡在膜外,从而实现水的净化。这一技术利用了不同物料间的渗透压差异,以及反渗透膜只允许溶剂(通常是水)通过的特殊性质。在电子行业中,反渗透膜处理法能够为电子行业提供高质量的生产用水,满足集成电路、液晶显示、太阳能电池等领域对水质的高标准要求,反渗透膜处理法有助于保障电子产品的性能和稳定性,提高产品质量和生产效率。
深度电除盐法
深度电除盐法结合了电渗析和离子交换技术的优点,在电场作用下,通过离子交换膜的选择性透过和离子交换树脂的连续再生,高效去除水中的离子杂质,包括溶解的盐分、有机物等,从而产出高纯度的水。在电子行业中,高纯度的水是生产高质量电子产品的基础。深度电除盐法能够为电子行业提供稳定、可靠的高纯度水源,满足集成电路、半导体、液晶显示器等生产环节对水质的高要求。通过去除水中的杂质,深度电除盐法有助于减少生产过程中的缺陷率,提高产品的性能和稳定性,同时也有助于降低生产成本和废水处理成本。
树脂交换法
树脂交换法主要基于离子交换树脂的选择性吸附和离子交换能力。树脂中的可交换离子基团能够吸附并去除电子行业用水中的阳离子(如钙、镁、钠等)和阴离子(如氯离子、硫酸根离子等),从而实现水质的净化。在电子行业中,经树脂交换法处理后的水有助于减少生产过程中的缺陷率,提高电子产品的性能和稳定性。
终端超滤法
利用超滤膜的分子筛选作用,终端超滤膜是一种具有特定孔径的半透膜,能够在压力驱动下,允许溶剂(如水分子)及小分子溶质透过,而将粒径大于0.01微米的颗粒物杂质拦截,可进一步提高水质纯度,确保超纯水颗粒数达标,减少颗粒物在电子器件表面的残留。

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